工厂设施
| 真空 | Max 2mmHg |
| 加热 | 蒸汽: +180 导热油：+250℃ |
| 冷却 | 冷冻水 ： -20 液氮: -78℃(低温反应) |
| 惰性气体 | 制氮机: 400NM3/h |
| 水 | 纯化水 |
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